Kratos AXIS Nova

Spectromètre de photoélectrons X à imagerie

Résolution d’image	3 μm max.
Sensibilité	(rayons X monochromatiques, 0,48 eV FWHM) Analyse macro : 250 kcps Analyse de 15 μm de diamètre : 0,8 kcps

Spectroscopie de photoélectrons X (XPS)	La performance spectroscopique est définie comme le nombre de comptes par seconde pour une largeur à mi-hauteur (FWHM) mesurée pour la composante Ag 3d5/2. L’AXIS Nova offre une performance spectroscopique exceptionnelle sur une grande surface (700 x 300 µm). Modes de sélection de zone (diamètre) : 110 µm, 55 µm, 27 µm et 15 µm.
Imagerie parallèle XPS	La résolution spatiale ultime en mode d’imagerie parallèle est inférieure à 3 µm. Les champs de vision pour l’imagerie sont d’environ 950 x 950 µm, 425 x 425 µm et 220 x 220 µm.
Performance sur les isolants	L’AXIS Nova est équipé d’un système de neutralisation de charge par électrons uniquement. La performance du système de neutralisation de charge est confirmée sur le polymère standard, le polyéthylène téréphtalate (PET).
Manipulation des échantillons	Jusqu’à trois grands porte-échantillons de 110 mm de diamètre peuvent être introduits dans l’AXIS Nova simultanément. La manipulation des échantillons est entièrement automatisée.
Source d’ions	Source d’ions Ar+ monoatomique Minibeam 4 ou source d’ions en cluster gazeux (GCIS) Minibeam 6 multi-mode pour le nettoyage des échantillons et le profilage en profondeur par pulvérisation.