AXIS Supra+
Spectromètre de photoélectrons X à imagerie
Spécifications
| Spectroscopie de photoélectrons X (XPS) |
La performance spectroscopique est définie comme le nombre de comptes par seconde pour une largeur à mi-hauteur (FWHM) mesurée pour la composante Ag 3d5/2. L’AXIS Supra+ offre une performance spectroscopique de pointe sur une grande surface (700 x 300 µm). Modes de sélection de zone (diamètre) : 110 µm, 55 µm, 27 µm et 15 µm. |
| Imagerie parallèle XPS |
La résolution spatiale ultime en mode d’imagerie parallèle est de 1 µm. Les champs de vision pour l’imagerie sont d’environ 400 x 400 µm, 200 x 200 µm et 80 x 80 µm. |
| Performance sur les isolants |
L’AXIS Supra+ est équipé d’un système de neutralisation de charge par électrons uniquement. La performance du système de neutralisation de charge est confirmée sur le polymère standard, le polyéthylène téréphtalate (PET). |
| Manipulation des échantillons | Manipulateur motorisé à 5 axes, intégré à un échange d’échantillons entièrement automatisé pour jusqu’à 3 porte-échantillons. |
| Source d’ions | Source d’ions Ar+ monoatomique Minibeam 4 ou source d’ions en cluster gazeux (GCIS) Minibeam 6 multi-mode pour le nettoyage des échantillons et le profilage en profondeur par pulvérisation. |